應(yīng)用

·        半導(dǎo)體、平板顯示器和光伏行業(yè)

·        用于為半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)供應(yīng)高純氣體

產(chǎn)品特性

·        高精度壓力測量0.15 % RSS

·        **的長期穩(wěn)定性

·        信號降噪和屏蔽

·        真空基準(zhǔn)壓力測量

·        主動溫度補(bǔ)償

描述

可靠
WUD-2x系列高純傳感器將先進(jìn)的傳感器理念與模擬輸出信號相結(jié)合，能夠?yàn)楫?dāng)前市場需求提供**、準(zhǔn)確的壓力測量。

基于真正真空基準(zhǔn)的壓力測量技術(shù)，加上帶干擾屏蔽及噪音消除的電子測量技術(shù)，確保了高精度壓力測量以及優(yōu)異的長期穩(wěn)定性。

主動溫度補(bǔ)償可降低溫度變化對傳感器的影響，即使在溫度變化很大的應(yīng)用中仍然能夠**使用，如氣體膨脹時的焦耳湯姆遜效應(yīng)。

WUD-25管道式及WUD-26表面安裝傳感器采用特別設(shè)計，可承受安裝帶來的扭曲應(yīng)力。特殊的薄膜設(shè)計可消除過程連接或焊接接縫處的負(fù)載造成的傳感器失效風(fēng)險。

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